微电子行业-超纯水处理工艺流程

如今，我们生活在一个新世纪，新技术时代，虽然生活中包含了新材料、新能源、生物工程、海洋工程、航空航天技术和电子信息技术等等，但是影响最大，运用最广泛，渗透性最强，最具有新技术时代代表性的乃是以微电子技术为核心的电子信息技术。微电子技术是随着集成电路，尤其是超大型规模集成电路而发展起來的一门新的技术，微电子技术包括系统电路设计，器件物理、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门技术，随着微电子行业的不断发展，他们的用水标准也要符合规定的标准，微电子行业需用超纯水。

以下是适用于微电子行业用水的工艺流程：

1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→阳床→阴床→泥床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过 滤器→用水点。

2、采用反渗透工艺水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为： 原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→ 后罝精密过滤器→用水点。

3、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的方式，这是一种超纯水处理的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为： 原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)—纯水箱→纯水泵→后罝精密过滤器→用水点。

当然，需要根据实际情况设计合理的工艺流程。其中，反渗透设备是制取超纯水的关键，能够有效地去除水中的溶解盐类、胶体、微生物、有机物等。